Vorlesung
2 SemesterwochenstundenBTU-Vorlesungsverzeichnis ↗- Mittwoch07 Okt 2026 bis 27 Jan 202715:30 bis 17:00
- Mittwoch07 Okt 2026 bis 27 Jan 202717:30 bis 19:00
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13019Fakultät 1 – MINT – Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik
Mikrosystemtechnik
Titel auf Englisch: Micro Systems
Lernergebnisse
After successful completion of the module, the students master the basics of silicon-based microsystems technology. Using the module's topic as an example, they understand the methods of gaining knowledge and know exemplary applications. In addition, social competences such as the ability to cooperate, as well as other individual competences such as diligence, perseverance, curiosity, initiative, frustration tolerance, etc. were promoted in the students.
Inhalte
- Introduction to silicon technology: materials, film deposition and structuring, surface- and volume-micromechanics, overview of equipment technology.
- Physical principles of efficiency: basic physical principles of efficiency of simple sensors and actors (e.g. electrostatic, piezoelectric and magnetic effects).
- Proposal of complex sensors and actors: overview of systematics and methodology, simple simulation examples for the calculation of dynamic properties of MEMS sensors.
- Function and properties of complex sensors and actors: e.g. light modulators, acceleration sensors, gyroscope, scanner mirror.
Voraussetzungen
Verpflichtende Voraussetzungen
Keine
Empfohlene Voraussetzungen
Sound knowledge of solid state physics at or beyond the bachelor level.
Prüfungsmodalitäten
Written examination, 90 minutes
Termine im WiSe 26/27
Übung
1 SemesterwochenstundeBTU-Vorlesungsverzeichnis ↗- Mittwoch28 Okt 2026 bis 20 Jan 202715:30 bis 17:00
Prüfung
BTU-Vorlesungsverzeichnis ↗- Mittwoch17 Feb 202711:00 bis 13:00
Angeboten in
- Micro- and NanoelectronicsM.Sc.
Wahlpflichtkomplex: Technology and Devices
- PhysicsM.Sc.
Wahlpflichtkomplex: Physical Specialization with Experimental Focus
Themengebiet: Nanophysics - ElektrotechnikMaster
Wahlpflichtkomplex: Kein Komplex genannt
| Studiengang | Abschluss | Wahlpflichtkomplex |
|---|---|---|
| Micro- and Nanoelectronics | M.Sc. | Technology and Devices |
| Physics | M.Sc. | Physical Specialization with Experimental FocusThemengebiet: Nanophysics |
| Elektrotechnik | Master | Kein Komplex genannt |
Literatur und Materialien
- M. Madou, "Fundamentals of Microfabrication„, CRC Press , Boca Raton-NewYork (2002)
- Gianchandani, Yogesh B.; Tabata, Osamu; Zappe, Hans P.: „Comprehensive Microsystems“, Vol. 1-3, Elsevier, Amsterdam (2008)
Hinweise
- reworking of lecture
- literature work
- preparation of a talk
Bewertungen von Studierenden
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